如何维持百级无尘车间的洁净度

一、空气净化与气流控制

在无尘车间中，空气的质量直接关系到产品的品质。为了确保空气的洁净度，高效的过滤系统和精准的气流组织是关键。

1. 高效过滤系统：采用先进的HEPA或ULPA过滤器，有效滤除空气中的颗粒污染物。HEPA过滤器能滤除≥0.3μm的颗粒，效率高达99.97%以上；而ULPA过滤器则能滤除≥0.1μm的颗粒，效率更是高达99.999%。为了确保过滤效果，不仅要选择合适的过滤器，还需要定期更换，如初效过滤器每三个月更换一次，高效过滤器则每1-2年更换一次。

2. 精准气流组织：采用垂直单向流设计，确保空气流动方向明确，气流速度为0.3-0.5米/秒。每小时换气次数达到300-600次，通过顶部送风、地面回风的方式，实现气流分布的均匀性。

为了确保空气的洁净度稳定，压差管理也至关重要。不同洁净区域间保持5-15Pa的正压差，防止低洁净区的污染物侵入。

二、人员与物料管理

在无尘车间中，人员和物料是污染的主要来源，因此需要严格的管理规范。

1. 人员规范：进入车间的员工需穿戴连体式无尘服、无尘鞋、手套及头套。在风淋室中，通过至少15秒的吹淋，去除表面的颗粒。限制车间内的人员数量和活动范围，并对操作人员进行培训，避免快速移动或触碰设备表面。

2. 物料进出：物料需通过传递窗或气闸室进出车间，采用双门互锁设计，减少开门带来的污染风险。物料包装需为无尘材质，进入前需用酒精擦拭表面。

三、清洁与维护流程

清洁是维持无尘车间洁净度的关键步骤。

1. 日常清洁：从上到下、从远到近的原则进行清洁，先清洁天花板、墙面，再清洁地面。使用无尘布和专用清洁剂，如90%去离子水+10%异丙醇溶液。严禁使用普通扫帚、拖把。

2. 清洁：每周清洁墙面和架空地板下方的支撑结构，每月全面擦拭设备表面。使用带HEPA过滤器的吸尘器处理地面和缝隙积尘。

3. 垃圾处理：设置密闭垃圾箱，每日清理生产废料和废弃包装，避免在车间内暂存。

四、环境参数监控

为了确保无尘车间的洁净度长期稳定，环境参数的监控至关重要。

1. 温湿度控制：将温度维持在20-24℃，湿度控制在45%-65%，以防止静电产生或微生物滋生。

2. 实时监测系统：安装传感器监测颗粒浓度、压差、温湿度等关键参数。一旦参数异常，系统将自动报警。每日记录数据，每月进行洁净度检测，如使用激光粒子计数器测试。每年还需进行第三方性能验证，以确保车间的性能稳定。

关键控制指标一览：

| 项目 | 标准值 | 检测频率 |

|--||--|

| ≥0.5μm颗粒浓度 | ≤3520个/m（达到ISO 5级标准） | 实时监测及每月检测 |

| 换气次数 | 300-600次/小时 | 每周检测 |

| 正压差 | 5-15Pa | 实时监测 |

| 人员表面残留颗粒数 | 风淋后≤5个/平方厘米 | 抽样检测 |

通过上述综合措施的实施，我们能够实现对百级无尘车间洁净度的长期稳定运行，满足半导体、精密电子等高敏感行业的生产需求。